Универсальный газовый анализатор UGA-200

Универсальный Газовый анализатор UGA-200 являются современным масс-спектрометром, разработанными для анализа легких газов в диапазоне масс 1 -200 а.е.м. Отличительной особенностью данного прибора является возможность отбора для анализа пробы из атмосферы. Образец газа при атмосферном давлении втягивается через капилляр длиной 0,9 м и внутренним диаметром 0,175 мм, что понижает давление в тридцать раз. Малое количество пробы газа втягивается турбомолекулярным насосом через микроканал (0,04мм), что уменьшает давление пробы до 1*10-5 - 1*10-6 Torr, в то время как основная   часть втянутого газа проходит непосредственно к байпасному мембранному насосу. Анализ пробы осуществляется в высоковакуумной камере посредством квадрупольного масс-спектрометра. Данный прибор относится к классу анализаторов остаточных газов (RGA). 

 

Параметр

Характеристика

1

Диапазон регистрируемых масс

1 - 200 а.е.м.

2

Тип массового фильтра

квадрупольный

3

Разрешение

лучше чем 0,5 а.е.м. на пике 10%, настраиваемое

4

Рабочее давление

1 – 760 торр в зависимости от используемого капилляра

5

Минимальное измеряемое парциальное давление

1 ppm при работе с электронным умножителем,

10 ppm при работе только с чашей Фарадея.

6

Давление в камере

масс-спектрометра 10-6 Торр

предварительного разрежения 10-4 Торр

7

Вакуумная система

турбомолекулярный насос производительностью 81 л/с, предельное давление 10-9 Торр,

мембранный насос

8

Требования к

электропитанию

~ 220 В, одна фаза, 50Гц, 600 ВА

9

Вес прибора

41 кг