V Всероссийская конференция "Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий (ФОМН’15)"

07/12/2015 ZAE

Участники:

Шмаков А.А., Коробейщиков Н.Г., Каляда В.В., Пеньков О.И., Зарвин А.Е. "Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел" // V Всероссийская конференция "Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий (ФОМН’15)". Новосибирск, 15-18 июня 2015 г. 

»