Hiden Analytical EPIC Серия 1000

13/11/2010 ZAE

Квадрупольный Масс-спектрометр с тройным фильтром для аналитических применений. Квадрупольные масс-спектрометры Hiden EPIC для высокоточных научных исследований, анализа положительных и отрицательных ионов, нейтралей и радикалов в широком диапазоне применений, включая изучение таких процессов как электронно-стимулированное осаждение, фотон стимулированное осаждение и термическое осаждение. Мощный микропроцессор Hiden HALV обеспечивает скорость развертки до 500

каналов/секунду, а встроенная программа синхронизации позволяет совместить данные масс-спектрометрии с сигналами встроенной системы ввода/вывода, например, с термопарами.

Предусмотрены следующие возможности:

• Анализ положительных ионов
• Анализ отрицательных ионов
• Анализ энергии зараженных частиц за счет развертки потенциала квадруполя +/-100V (+/-1kVопциально)
• Масс-спектрометрия потенциала появления (AP-MS)
• Масс-спектрометрия диссоциативного прилипания электронов (DEA-MS)
• Измерения с временным разрешением до 100нс. Генераторы задержки и стробирующего сигнала полностью интегрированы с системой управления.

Масс-спектрометр представляет собой прецизионный прибор, состоящий из квадрупольного масс-фильтра с тремя квадрупольными секциями с независимым ВЧ питанием, сверхвысоковакуумным ионизатором с двойным катодом,

покрытым оксидом иридия, и канальным умножителем со счетным режимом работы и динамическим диапазоном 107 .

Диапазон масс

2:1000 аем

Максимальное рабочее давление

5 x 10-6 тор

Разрешение

10% по высоте между двумя соседними пиками одинаковой интенсивности.

Относительная чувствительность

0.1 часть на миллион

Детектор

Детектор быстрого подсчета импульсов положительных и отрицательных ионов

Динамический диапазон
  • От 1 имп/сек до 107 имп/сек.                                                          
  • 1 - 7 декад (1 : 107) в непрерывном режиме.

Скорость измериния:

  • Макс.скорость измерения
  • Анализ трендов

 

  •  500 измерений в секунду (при сканировании одного массового пика)
  • Среднее до 250 измерений в секунду (при сканировании пиков различных масс)

Источник ионов:

  • Катод
  • Ток эмиссии
  • Энергия электронов
  • Энергия ионов

Радиально симметричный, ионизация электронным ударом Низкий профиль

  • Нитевидный. Оксидированный иридий
  • 20 мкA – 2мA (стандартное значение - 1 мA)
  • 0 - 150 эВ (стандартное значение – 70 эВ)
  • 0 - 10 эВ (стандартное значение – 3 эВ)

Потенциал оси

+/100V (+/- 1kV опциально)

 


»